光學(xué)平臺(tái)系列

電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)

電話：027-63499644
郵箱：whhcwzjd@163.com
地址：武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山二路特1號(hào)國際企業(yè)中心3棟

精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)

非接觸式晶圓測(cè)量系統(tǒng)

所屬類別：精密多軸直線電機(jī)平臺(tái)

咨詢熱線：18571651663

詳細(xì)內(nèi)容

主要性能特征:

· 對(duì)射式非接觸式同軸激光位移傳感器測(cè)量

· 直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

· 兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量。

· 共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性

· 兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品（可擴(kuò)展至300mm 12英寸產(chǎn)品）

· 晶圓的測(cè)量厚度范圍為10um-20mm

· 抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架

· 最大掃描速度1m/s

· 可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式

· 直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式

· 適用于厚度，TTV，LTV，TIR，Sori，Taper，Bow和Warp 測(cè)量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)