光學平臺廣泛運用于各個領域中，隨著先進的設備和工藝的發(fā)展，使納米量級的測量成為可能。例如，變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度，目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領域，已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級的集成電路，提出測量準確率小于50納米的精度要求，這樣的應用對系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了極高的要求。例如用顯微鏡對圖像進行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點的圖像。如果，在曝光過程中光學系統(tǒng)的每一部分（照明系統(tǒng)、樣品、顯微鏡光學系統(tǒng)、成像光學系統(tǒng)和相紙平面）都準確地一同移動，不存在相對位移，成像也會很清晰。如果樣品相對物鏡產(chǎn)生了運動，則像就會模糊。在光學干涉測量、全息及運用相似的規(guī)律時，控制相對運動都是很重要的。在一個理想的剛性體內(nèi)部（只在理論上存在），任何兩點的相對位置都是不變的。也就是說，在振動、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩(wěn)固地連接成一個理想的剛性體，不同元件之間沒有相對位移，系統(tǒng)的性能也會很穩(wěn)固。理想的剛性體是不存在的?，F(xiàn)實中的系統(tǒng)只能近似的認為是剛性的，因此，其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源，系統(tǒng)的重量，光學平臺的結(jié)構(gòu)等等。為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性，我們可以從以下的幾個方面來著手。一、將系統(tǒng)與振源隔離外界的振源來源很多，比如地面的自振，各種聲音等等。但是影響較大的是各種低頻的振源，主要集中在10～100Hz頻率內(nèi)。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。二、控制振動的作用將系統(tǒng)組裝成動態(tài)的剛性結(jié)構(gòu)可以保證系統(tǒng)內(nèi)部的相對穩(wěn)定性，且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。三、控制靜力矩的作用光學平臺的硬重比對于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺可以在較小的重量下產(chǎn)生較小的變形，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學平臺可以充分的提高硬重比，達到提高系統(tǒng)性能的目的。四、控制溫度變化隨著時間的延續(xù)，不規(guī)則溫度變化會造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如，避免在平臺下放置散熱設備，隔絕熱源設備和硬件，如光源、火焰等。五、盡可能將臺面設計成對溫度不敏感的良好的熱傳導性可起到作用，然而，在極端特殊的應用中，選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不脹鋼，具有極小的熱膨脹系數(shù)。一米長的超不脹鋼在溫度變化1K時膨脹長度約0.2微米。光學平臺采用表面鐵磁不銹鋼，芯部蜂窩結(jié)構(gòu)支撐的結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)，不但充分的發(fā)揮了鐵磁不銹鋼材料剛性好，溫度膨脹系數(shù)小，耐腐蝕的優(yōu)點，而且提高了平臺的硬重比，增加了剛性，降低了變形量，提高了抗靜力矩能力。而且鐵磁不銹鋼耐腐蝕，能吸附磁性底座，可以方便的搭建各種光學系統(tǒng)。適用于承載較大，對抗振性要求較高的系統(tǒng)。光學平板采用優(yōu)質(zhì)鋁材制造。與鋼材相比，鋁材硬重比大，有一定的抗振性，溫度傳導性好，不良環(huán)境中溫度形變小，陽極氧化后美觀，耐磨，但是鋁材的剛性較差，無法承載較大的重量，因此一般用于承載較小的系統(tǒng)種，而且不宜懸空支撐。
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